- · 《电子设计工程》收稿方[06/03]
- · 《电子设计工程》数据库[06/03]
- · 《电子设计工程》栏目设[06/03]
- · 《电子设计工程》刊物宗[06/03]
- · 《电子设计工程》征稿要[06/03]
- · 《电子设计工程》投稿方[06/03]
无线电电子学论文_InP HEMT外延结构材料抗电子
作者:网站采编关键词:
摘要:文章摘要:为研究磷化铟高电子迁移率晶体管(InP HEMT)外延结构材料的抗电子辐照加固设计, 本文采用气态源分子束外延法制备了系列InP HEMT外延结构材料,针对不同外延结构材料开展
文章摘要:为研究磷化铟高电子迁移率晶体管(InP HEMT)外延结构材料的抗电子辐照加固设计, 本文采用气态源分子束外延法制备了系列InP HEMT外延结构材料,针对不同外延结构材料开展了1.5 MeV电子束辐照试验, 辐照注量为2×1015cm-2,并测试了InP HEMT外延结构材料二维电子气(2DEG)辐照前后的电学特性, 获得了辐照前后不同外延结构InP HEMT材料二维电子气归一化浓度和电子迁移率随外延参数的变化规律,分析了InP HEMT二维电子气辐射损伤与外延结构参数(如Si-δ掺杂浓度、InGaAs 沟道厚度和沟道In组分以及隔离层厚度等结构参数)依赖的关系。结果表明: Si-δ掺杂浓度越大,隔离层厚度较薄,InGaAs 沟道厚度较大,沟道In组分低的InP HEMT外延结构二维电子气辐射损伤相对较低,具有更强的抗电子辐照能力。经分析原因如下: 1)电子束与材料晶格发生能量传递, 破坏晶格完整性,且在沟道异质界面引入辐射诱导缺陷, 增加复合中心密度,散射增强导致二维电子气迁移率和浓度降低. 2) 高浓度Si-δ掺杂和薄隔离层有利于提高量子阱二维电子气浓度,降低二维电子气受辐射损伤的影响. 3)高In组分应变沟道有利于提高二维电子气迁移率,但辐照后更容易应变弛豫产生位错缺陷,导致二维电子气迁移率显著下降。
文章关键词:
项目基金:《电子设计工程》 网址: http://www.dzsjgc.cn/qikandaodu/2021/1104/1561.html